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シリコンの科学 / UCS半導体基盤技術研究会編
(Surface science technology series ; No.3)

データ種別 図書
出版者 東京 : リアライズ社
出版年 1996.6
形態 19,1030,16p ; 27cm
著者標目 半導体基盤技術研究会
分 類 NDC:549.8
書誌ID LT00510626

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工学部分室開架 549.8/H29-9/3 0110674010000 9784947655882




書誌詳細を非表示

本文言語 日本語
一般注記 参考文献:各章末
監修:大見忠弘,新田雄久
NCID BN14827619
巻冊次 ISBN:4947655887
目次/あらすじ

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