Plasma deposition of amorphous silicon-based materials / edited by Giovanni Bruno, Pio Capezzuto, Arun Madan
(Plasma-materials interactions)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Boston ; Tokyo : Academic Press |
| 出版年 | c1995 |
| 形態 | xi, 324 p. : ill. ; 24 cm |
| 著者標目 | Bruno, Giovanni Capezzuto, Pio Madan, Arun |
| 件 名 | LCSH:Amorphous semiconductors -- Design and construction
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LCSH:Silicon alloys LCSH:Plasma-enhanced chemical vapor deposition |
| 分 類 | NDC:549.8 LCC:TK7871.99.A45 DC20:621.3815/2 |
| 書誌ID | LT00494476 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.8/B78/1 | 0110367770104 | 9780121379407 |
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| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| NCID | BA2626808X |
| 巻冊次 | ISBN:012137940X |
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