ソウサガタ レーザビーム ユウキ デンリュウホウ オ モチイタ シリコン カンツウ デンキョク ノ ヒョウカ
走査型レーザビーム誘起電流法を用いたシリコン貫通電極の評価 / 石本貴紘
(工学研究科電子情報工学専攻)
| データ種別 | 修士論文 |
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| 出版者 | 福岡 : 福岡大学 |
| 出版年 | 20160319 |
| 別書名 | 標題紙タイトル:Evaluation of Through-Silicon-Via (TSV) by Scanning Laser Beam Induced Current (SLBIC) method |
| 著者標目 | 石本, 貴紘 <イシモト, タカヒロ> |
| 件 名 | FREE:主査教授 友景肇 FREE:副査 文仙正俊 |
| 書誌ID | LT00987196 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 143/2015 | 1000000006257 |
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禁帯出 |
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| 本文言語 | 日本語 |
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| 一般注記 | 公開範囲: 学内限定 |