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Low-k絶縁材料を用いたLSI配線パターンの電気的特性評価 / 新谷宣明
(工学研究科電子情報工学専攻)

データ種別 修士論文
出版者 福岡 : 福岡大学
出版年 20100319
著者標目 新谷, 宣明
件 名 FREE:主査教授 友景肇
書誌ID LT00818371

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工学部分室開架 120/2009 1000000004907


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本文言語 日本語
一般注記 公開範囲 学内限定