Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization / Marc J. Madou
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 版 | 2nd ed |
| 出版者 | Boca Raton, Fla. : CRC Press |
| 出版年 | c2002 |
| 形態 | 723 p., [16] p. of plates : ill. ; 29 cm |
| 著者標目 | *Madou, Marc J. |
| 件 名 | LCSH:Machining LCSH:Microelectronic packaging LCSH:Lasers -- Industrial applications 全ての件名で検索 |
| 分 類 | NDC9:549 NDC9:549.95 |
| 書誌ID | LT00684259 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549/MA25/1 | 0113325160100 | 9780849308260 |
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| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| NCID | BA57154278 |
| 巻冊次 | ISBN:0849308267 |
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