VLSI ノ ハクマク ギジュツ
VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
(電子材料シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : 丸善 |
| 出版年 | 1986.9 |
| 形態 | xii, 250p ; 22cm |
| 著者標目 | 伊藤, 隆司 <イトウ, タカシ> 石川, 元 <イシカワ, ハジメ> 中村, 宏昭 <ナカムラ, ヒロアキ> |
| 件 名 | BSH:集積回路 BSH:薄膜 NDLSH:集積回路 NDLSH:薄膜 |
| 分 類 | NDC:549.3 NDLC:ND386 |
| 書誌ID | LT00271918 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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中央自動書庫 | 549.3/I89-2/1+2 | 0107689570002 | 9784621031124 |
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工学部分室開架 | 549.3/I89-2/1 | 0107095530008 | 9784621031124 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
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| 一般注記 | 参考文献: 各章末 |
| 巻冊次 | ISBN:4621031120 |
目次／あらすじ