MEMS & microsystems : design and manufacture / Tai-Ran Hsu
データ種別 | 図書 |
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出版者 | New York : McGraw-Hill |
出版年 | c2002 |
形態 | xii, 436 p. : ill., port. ; 24 cm |
別書名 | 異なりアクセスタイトル:MEMS and microsystems : design and manufacture |
著者標目 | Hsu, Tai-Ran |
件 名 | LCSH:Microelectronics LCSH:Microelectromechanical systems LCSH:Microelectronic packaging |
分 類 | NDC9:549 LCC:TK7874.H794 DC21:621.381 |
書誌ID | LT00684818 |
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状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549/H97/1 | 0113326740100 | 9780072393910 |
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工学部分室開架 | 549/H97/1 | 0113327990100 | 9780072393910 |
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書誌詳細を非表示
本文言語 | 英語 |
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一般注記 | Bibliography: p. 427-431 Includes index |
NCID | BA55106398 |
巻冊次 | ISBN:0072393912 |
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