プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| 出版年 | 1986.8 |
| 形態 | 202,3p ; 22cm |
| 著者標目 | 小沼,光晴(1950-) |
| 件 名 | プラズマ |
| 分 類 | NDC:427.53 |
| 書誌ID | LT00341724 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 427.53/KO78/1 | 0108712960003 | 9784526020650 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| NCID | BN00233219 |
| 巻冊次 | ISBN:4526020656 |
目次／あらすじ
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