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Materials science of thin films : deposition and structure / Milton Ohring

データ種別 図書
2nd ed
出版者 San Diego ; Tokyo : Academic Press
出版年 c2002
形態 xxi, 794 p. : ill. ; 24 cm
別書名 表紙タイトル:Materials science of thin films : deposition & structure
著者標目 *Ohring, Milton, 1936-
件 名 LCSH:Thin films
分 類 NDC9:549.8
書誌ID LT00647310

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工学部分室開架 549.8/O29/1 0112677320100 9780125249751




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本文言語 英語
一般注記 Includes bibliographical references and index
NCID BA54373446
巻冊次 ISBN:0125249756
目次/あらすじ

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