ハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
はじめての半導体ドライエッチング技術 / 野尻一男著
(現場の即戦力)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 版 | 改訂版 |
| 出版者 | 東京 : 技術評論社 |
| 出版年 | 2020.11 |
| 形態 | x, 188p : 挿図 ; 21cm |
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:半導体ドライエッチング技術 : はじめての |
| 著者標目 | 野尻, 一男 <ノジリ, カズオ> |
| 件 名 | BSH:半導体 NDLSH:半導体 |
| 分 類 | NDC9:549.8 NDC8:549.8 NDC10:549.8 NDLC:ND371 |
| 書誌ID | LT01049582 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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工学部分室開架 | 549.8/N93/2 | 2000000418820 | 9784297115999 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 一般注記 | 参考文献: 章末 |
| NCID | BC03589205 |
| 巻冊次 | ISBN:9784297115999 |
目次／あらすじ
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