Introduction to microfabrication / Sami Franssila
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | Chichester : J. Wiley |
| 出版年 | c2004 |
| 形態 | xvii, 401 p. : ill. ; 26 cm |
| 著者標目 | *Franssila, Sami |
| 件 名 | LCSH:Microelectromechanical systems LCSH:Electronic apparatus and appliances LCSH:Microfabrication |
| 分 類 | NDC9:549 LCC:TK7875 DC22:621.3 |
| 書誌ID | LT00702098 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549/F44/1 | 0113596030100 | 9780470851050 |
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| 本文言語 | 英語 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 巻冊次 | ISBN:0470851058 |
目次／あらすじ