ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ ; カテゴリー1-15 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 培風館 |
| 出版年 | 1995.12 |
| 形態 | xi,366p ; 22cm |
| 著者標目 | 大見, 忠弘 |
| 件 名 | BSH:集積回路 NDLSH:半導体 |
| 分 類 | NDC:549.8 |
| 書誌ID | LT00513662 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
工学部分室開架 | 549.8/O62-1/1 | 0110698210000 | 9784563036157 |
|
|
|
|
|
書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 一般注記 | 参考文献:各章末 |
| NCID | BN13643698 |
| 巻冊次 | ISBN:4563036153 |
目次／あらすじ