Semiconductor wafer bonding : science and technology / Q.-Y. Tong, U. Gösele ; sponsored by the Electrochemical Society
(The Electrochemical Society series)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : J. Wiley |
| 出版年 | c1999 |
| 形態 | xviii, 297 p. : ill. ; 25 cm |
| 著者標目 | Tong, Q.-Y., 1938- Gösele, U., 1949- Electrochemical Society |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors -- Bonding
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LCSH:Semiconductor wafers |
| 分 類 | NDC:549.8 |
| 書誌ID | LT00564562 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.8/TO63/1 | 0111456760100 | 9780471574811 |
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| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | "A Wiley-Interscience publication" Includes bibliographical references and index |
| NCID | BA41392663 |
| 巻冊次 | ISBN:0471574813 |
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