サイシン プラズマ プロセス ノ モニタリング ギジュツ ト カイセキ セイギョ
最新プラズマプロセスのモニタリング技術と解析・制御 / 林康明編著
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : リアライズ社 |
| 出版年 | 1997.8 |
| 形態 | 4, 174, 4p ; 30cm |
| 著者標目 | 林, 康明 <ハヤシ, ヤスアキ> |
| 件 名 | NDLSH:プラズマ |
| 分 類 | NDC8:549.8 |
| 書誌ID | LT00615874 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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工学部分室開架 | 549.8/H48/1 | 0112329500000 | 9784947655981 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 一般注記 | 各章末:参考文献 |
| NCID | BA3264799X |
| 巻冊次 | ISBN:4947655984 |
目次／あらすじ
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