半導体立国 : 製造装置の明日を語る / 日本半導体製造装置協会編
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
出版年 | 1996.11 |
形態 | xi, 258p ; 19cm |
著者標目 | 日本半導体製造装置協会 |
件 名 | BSH:半導体 |
分 類 | NDC:549.8 |
書誌ID | LT00564108 |
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状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.8/N77-1/3 | 0111541970000 | 9784526039379 |
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本文言語 | 日本語 |
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一般注記 | 監修: 金山敏彦 |
NCID | BN15450516 |
巻冊次 | ISBN:4526039373 |
目次/あらすじ