マイクロリソグラフィ- : IC,LSIはこうしてつくられる / 野々垣三郎著
(Frontier technology series ; 002)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 丸善 |
| 出版年 | 1986.10 |
| 形態 | 116p ; 19cm |
| 著者標目 | 野々垣, 三郎 |
| 件 名 | フォ-トエッチング リソグラフィ- |
| 分 類 | NDC:749.13 NDC:408 |
| 書誌ID | LT00386001 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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中央自動書庫 | 408/F48-1/2 | 0109172090005 | 9784621031155 |
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中央自動書庫 | 408/F48-1/2+2 | 0109620270001 | 9784621031155 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 一般注記 | 参考書紹介:p115-116 |
| NCID | BN01140871 |
| 巻冊次 | ISBN:4621031155 |
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