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マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ
マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用 / 藤田博之著

データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 2003.8
形態 232p ; 21cm
著者標目 藤田, 博之(1952-) <フジタ, ヒロユキ>
件 名 BSH:マイクロマシン
分 類 NDC9:530
書誌ID LT00692945

所蔵情報を非表示


工学部分室開架 530/F67/2 0113481910000 9784769371175




書誌詳細を非表示

本文言語 日本語
NCID BA6332701X
巻冊次 ISBN:4769371179
目次/あらすじ

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