Micro and nano fabrication : tools and processes / Hans H. Gatzen, Volker Saile, Jürg Leuthold ; with a foreward and an introduction by Richard S. Muller
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Heidelberg : Springer |
| 出版年 | c2015 |
| 形態 | xxvi, 519 p. : ill. (some col.) ; 25 cm |
| 著者標目 | *Gatzen, Hans H. Saile, Volker Leuthold, Jürg Muller, Richard S. |
| 件 名 | gnd:MEMS gnd:Nanoelektromechanik gnd:Mikrosystemtechnik gnd:Dünnschichttechnik gnd:Mikrofertigung gnd:Nanotechnologie FREE:(Produktform)Hardback FREE:(Zielgruppe)Fachpublikum/ Wissenschaft FREE:(Zielgruppe)Upper undergraduate FREE:(BIC Subject Heading)TGXW FREE:Micro Electro-mechanical Systems FREE:MEMS FREE:Nano Electro-mechanical Systems FREE:NEMS FREE:MNEMS FREE:Thin-film fabrication FREE:fabrication tools FREE:fabrication processes FREE:(VLB-WN)1689: Hardcover, Softcover / Technik/Sonstiges |
| 分 類 | NDC9:549 DC22:621.3815 SG:621.3 SG:670 SG:620 |
| 書誌ID | LT00959627 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549/G26/1 | 2000000321939 | 9783662443941 |
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| 本文言語 | 英語 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 巻冊次 | ISBN:9783662443941 |
目次／あらすじ