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ハクマクサクセイオウヨウハンドブック : 21セイキバン
薄膜作製応用ハンドブック : 21世紀版 / 小川正毅, 多賀康訓編集委員 ; 八瀬清志編集協力委員

データ種別	図書
出版者	東京 : エヌ・ティー・エス
出版年	2003.4
形態	5, 15, 1330, 25, 19, 18p, 図版18p, 表9p : 挿図 ; 27cm
著者標目	小川, 正毅 <オガワ, マサタケ> 多賀, 康訓 <タガ, ヤスノリ> 八瀬, 清志 <ヤセ, キヨシ> 権田, 俊一(1936-) <ゴンダ, シュンイチ>
件　名	NDLSH:薄膜
分　類	NDC9:549.8
書誌ID	LT00664451

状　態	巻　次	所　在	請求記号	資料番号	ISBN	刷　年	コメント	利用注記	予約・取寄	お薦めの本	自動書庫	付録注記
		理学部分室開架	549.8/O24-1/1	0113142410000	9784860430191				予約・取寄				予約・取寄
		工学部分室開架	549.8/O24-1/1	2000000345927	9784860430191				予約・取寄				予約・取寄

目次／あらすじ