ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク Q&A : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス / 小島啓安著
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 版 | 第2版 |
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| 出版年 | 2015.2 |
| 形態 | ix, 437p ; 21cm |
| 著者標目 | 小島, 啓安 <コジマ, ヒロヤス> |
| 件 名 | BSH:薄膜 BSH:真空技術 |
| 分 類 | NDC9:549.8 NDC8:549.8 |
| 書誌ID | LT00999236 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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工学部分室開架 | 549.8/KO39/2 | 2000000367534 | 9784526073663 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 一般注記 | 参考文献: p425-434 |
| NCID | BB18417137 |
| 巻冊次 | ISBN:9784526073663 |
目次／あらすじ
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