ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
(ビギナーズブックス ; 29)
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : 工業調査会 |
| 出版年 | 2003.6 |
| 形態 | 305p ; 21cm |
| 著者標目 | 岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ> 鈴木, 章義 <スズキ, アキヨシ> 上野, 巧 <ウエノ, タクミ> |
| 件 名 | BSH:リソグラフィー BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC9:549.8 NDC9:549.7 |
| 書誌ID | LT00695620 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.8/O48/1 | 0113502380000 | 9784769312246 |
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工学部分室開架 | 549.8/O48/1 | 2000000021050 | 9784769312246 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
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| NCID | BA62674459 |
| 巻冊次 | ISBN:4769312245 |
目次／あらすじ