ナノ プロセス ニ ホンカク トツニュウ シタ ジセダイ ライン ノ ゼンボウ
ナノプロセスに本格突入した次世代ラインの全貌
(半導体工場ハンドブック ; 2006)
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : 産業タイムズ社 |
| 出版年 | 2005.12 |
| 形態 | 143p ; 28cm |
| 著者標目 | 産業タイムズ社 <サンギョウ タイムズシャ> |
| 件 名 | BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
| 書誌ID | LT00770376 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.8/H29-11 | 2000000015377 | 9784883531233 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
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| NCID | BA75122364 |
| 巻冊次 | ISBN:4883531236 |
目次／あらすじ