イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSI ノ ユウゴウ
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 / 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
(新材料・新素材シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : シーエムシー出版 |
| 出版年 | 2012.11 |
| 形態 | ix, 279p ; 27cm |
| 別書名 | 標題紙タイトル:Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications 表紙タイトル:High technology information 異なりアクセスタイトル:異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合 |
| 著者標目 | 益, 一哉 <マス, カズヤ> 年吉, 洋 <トシヨシ, ヒロシ> 町田, 克之 <マチダ, カツユキ> |
| 分 類 | NDC9:549.7 |
| 書誌ID | LT00942364 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.7/MA66/1 | 2000000299085 | 9784781305868 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 一般注記 | 参考文献あり |
| NCID | BB1082106X |
| 巻冊次 | ISBN:9784781305868 |
目次／あらすじ