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Principles of physical vapor deposition of thin films / K.S. Sree Harsha

データ種別 図書
出版者 Oxford ; Tokyo : Elsevier
出版年 2006
形態 xi, 1160 p. : ill. ; 25 cm
著者標目 Sree Harsha, K. S.
分 類 NDC9:431.86
書誌ID LT00722557

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理学部分室開架 431.86/SR/1 2000000018027 9780080446998




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本文言語 英語
一般注記 Includes bibliographical references and index
巻冊次 ISBN:008044699X ; XISBN:9780080446998
目次/あらすじ

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