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カイリョウガタ スパッタリングホウ ニオケル ガス ソセイヒ イソンセイ ト PbTiO₃ ナノ ケッショウ イクセイ ノ サイテキカ
改良型スパッタリング法におけるガス組成比依存性とPbTiO₃ナノ結晶育成の最適化 / 森迫大義
(工学研究科電気工学専攻)

データ種別	修士論文
出版者	福岡 : 福岡大学
出版年	20210319
別書名	異なりアクセスタイトル:改良型スパッタリング法におけるガス組成比依存性とPbTiO₃ナノ結晶育成の最適化
著者標目	森迫, 大義 <モリサコ, タイギ>
件　名	FREE:主査教授 西田貴司 FREE:副査 孟志奇
書誌ID	LT01039543