ブラインドガタ スパッタリングホウ ニ ヨル チョウヘイタン Pt ナノシート デンキョク マク ケイセイ ニオケル ヒョウメン コウゾウ ト サイテキ ジョウケン ノ ケンキュウ
ブラインド型スパッタリング法による超平坦Ptナノシート電極膜形成における表面構造と最適条件の研究 / 鶴林大樹
(工学研究科電気工学専攻)
| データ種別 | 修士論文 |
|---|---|
| 出版者 | 福岡 : 福岡大学 |
| 出版年 | 20210319 |
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:ブラインド型スパッタリング法による超平坦Ptナノシート電極膜形成における表面構造と最適条件の研究 |
| 著者標目 | 鶴林, 大樹 <ツルバヤシ, ダイキ> |
| 件 名 | FREE:主査教授 西田貴司 FREE:副査 孟志奇 |
| 書誌ID | LT01039540 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 96/2020 | 1000000007105 |
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禁帯出 |
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| 本文言語 | 日本語 |
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| 一般注記 | 公開範囲: 学内限定 |
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※2020年8月以降