マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著
(応用物理学選書 ; 8)
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : 裳華房 |
| 出版年 | 1998.3 |
| 形態 | x,234p ; 22cm |
| 別書名 | 標題紙タイトル:The physics and technology of microfabrication |
| 著者標目 | 吉田, 善一(1957-) |
| 件 名 | BSH:集積回路 BSH:電子光学 |
| 分 類 | NDC:549.3 |
| 書誌ID | LT00545047 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.3/Y86-3/1 | 0111187040000 | 9784785325084 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
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| NCID | BA35144601 |
| 巻冊次 | ISBN:4785325089 |
目次／あらすじ