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リソグラフィ ギジュツ ソノ 40ネン
リソグラフィ技術その40年

データ種別 図書
出版者 東京 : S&T出版
出版年 2016.12
形態 143p : 挿図 ; 30cm
著者標目 S&T出版 <S&T シュッパン>
岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ>
田中, 初幸 <タナカ, ハツユキ>
花畑, 誠 <ハナバタ, マコト>
鴨志田, 洋一 <カモシダ, ヨウイチ>
野崎, 耕司 <ノザキ, コウジ>
渡邊, 健夫 <ワタナベ, タケオ>
関口, 淳 <セキグチ, アツシ>
Mack, Chris A.
上野, 巧 <ウエノ, タクミ>
件 名 NDLSH:リソグラフィー
分 類 NDC9:549.7
NDLC:ND386
書誌ID LT01025543

所蔵情報を非表示


工学部分室開架 549.7/SA62/1 2000000347007 9784907002633




書誌詳細を非表示

本文言語 日本語
一般注記 参考文献: 章末
索引あり
NCID BB24048261
巻冊次 ISBN:9784907002633
目次/あらすじ

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