リソグラフィ ギジュツ ソノ 40ネン
リソグラフィ技術その40年
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : S&T出版 |
出版年 | 2016.12 |
形態 | 143p : 挿図 ; 30cm |
著者標目 | S&T出版 <S&T シュッパン> 岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ> 田中, 初幸 <タナカ, ハツユキ> 花畑, 誠 <ハナバタ, マコト> 鴨志田, 洋一 <カモシダ, ヨウイチ> 野崎, 耕司 <ノザキ, コウジ> 渡邊, 健夫 <ワタナベ, タケオ> 関口, 淳 <セキグチ, アツシ> Mack, Chris A. 上野, 巧 <ウエノ, タクミ> |
件 名 | NDLSH:リソグラフィー |
分 類 | NDC9:549.7 NDLC:ND386 |
書誌ID | LT01025543 |
所蔵情報を非表示
状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.7/SA62/1 | 2000000347007 | 9784907002633 |
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書誌詳細を非表示
本文言語 | 日本語 |
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一般注記 | 参考文献: 章末 索引あり |
NCID | BB24048261 |
巻冊次 | ISBN:9784907002633 |
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