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マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 / 式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
(CMCテクニカルライブラリー ; 570 . 新材料・新素材シリーズ)

データ種別 図書
普及版
出版者 東京 : シーエムシー出版
出版年 2016.3
形態 ix, 301p : 挿図 ; 26cm
別書名 標題紙タイトル:Etching for micro/nano fabrication
異なりアクセスタイトル:マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
異なりアクセスタイトル:マイクロナノデバイスのエッチング技術
異なりアクセスタイトル:新材料新素材シリーズ
著者標目 式田, 光宏(1964-) <シキダ, ミツヒロ>
佐藤, 一雄(1948-) <サトウ, カズオ>
田中, 浩 <タナカ, ヒロシ>
件 名 NDLSH:半導体
NDLSH:表面 (工学)
BSH:リソグラフィー
分 類 NDC9:549.8
NDC9:549.7
書誌ID LT01022084

所蔵情報を非表示


工学部分室開架 549.8/SH34/1 2000000392119 9784781311012




書誌詳細を非表示

本文言語 日本語
一般注記 2009年刊の普及版
文献あり
NCID BB2089414X
巻冊次 ISBN:9784781311012
目次/あらすじ

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