ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
(現場の即戦力)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 技術評論社 |
| 出版年 | 2012.1 |
| 形態 | x, 301p : 挿図 ; 21cm |
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:半導体リソグラフィ技術 : はじめての |
| 著者標目 | 岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ> 鈴木, 章義 <スズキ, アキヨシ> 上野, 巧 <ウエノ, タクミ> |
| 件 名 | BSH:リソグラフィー BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC9:549.8 NDC9:549.7 NDC8:549.7 |
| 書誌ID | LT00901689 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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理学部分室開架 | 549.8/O48/2 | 2000000327433 | 9784774149394 |
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工学部分室開架 | 549.8/O48/2 | 2000000237509 | 9784774149394 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 一般注記 | 工業調査会 2003年刊の改訂 参考文献: 各章末 |
| NCID | BB07670705 |
| 巻冊次 | ISBN:9784774149394 |
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