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カイリョウガタ スパッタリングホウ ニオケル ガス ジョウケン セイギョ ト Pt ナノ リュウシ ノ セイチョウ メカニズム ノ カイセキ
改良型スパッタリング法におけるガス条件制御とPtナノ粒子の成長メカニズムの解析 / 渡邉力
(工学研究科電気工学専攻)

データ種別	修士論文
出版者	福岡 : 福岡大学
出版年	20230319
別書名	異なりアクセスタイトル:改良型スパッタリング法におけるガス条件制御とPtナノ粒子の成長メカニズムの解析
著者標目	渡邉, 力 <ワタナベ, チカラ>
件　名	FREE:主査教授 西田貴司 FREE:副査 篠原正典
書誌ID	LT01059641