アセチレン プラズマ ニ ヨル アモルファス タンソマク タイセキ ニオケル ハンノウ カイセキ ニ カンスル ケンキュウ
アセチレンプラズマによるアモルファス炭素膜堆積における反応解析に関する研究 / 中居辰夫
(工学研究科電気工学専攻)
| データ種別 | 修士論文 |
|---|---|
| 出版者 | 福岡 : 福岡大学 |
| 出版年 | 20230319 |
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:アセチレンプラズマによるアモルファス炭素膜堆積における反応解析に関する研究 |
| 著者標目 | 中居, 辰夫 <ナカイ, タツオ> |
| 件 名 | FREE:主査教授 篠原正典 FREE:副査 西田貴司 |
| 書誌ID | LT01059629 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 98/2022 | 1000000007426 |
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禁帯出 |
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| 本文言語 | 日本語 |
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| 一般注記 | 公開範囲: 学内限定 |
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