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Semiconductor fabrication : technology and metrology / Dinesh C. Gupta, editor
(ASTM special technical publication ; 990)

データ種別	図書
出版者	Philadelphia, PA : ASTM
出版年	c1989
形態	476 p. : ill. ; 24 cm
著者標目	Gupta, Dinesh C. American Society for Testing and Materials. Committee F-1 on Electronics Semiconductor Equipment and Materials International Symposium on Semiconductor Processing (5th : 1988 : Santa Clara, Calif.)
件　名	Semiconductors -- Design and construction -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	NDC:549.8 DDC:621.381/52 LCC:TK7871.85
書誌ID	LT00392888

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状　態	巻　次	所　在	請求記号	資料番号	ISBN	刷　年	コメント	利用注記	予約・取寄	お薦めの本	自動書庫	付録注記
		中央自動書庫	549.8/G94/1	0109097120100	9780803112735				予約・取寄				予約・取寄

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本文言語	英語
一般注記	Papers originally presented at the Fifth International Symposium on Semiconductor Processing, held at Santa Clara, Calif., on Feb. 1-5, 1988, sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics and Semiconductor Equipment & Materials International Includes bibliographical references and indexes "ASTM publication code number (PCN) 04-990000-46"--T.p. verso
NCID	BA07637305
巻冊次	ISBN:0803112734

目次／あらすじ