スパッタ技術 / 和佐清孝,早川茂著
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 共立出版 |
| 出版年 | 1988.6 |
| 形態 | 227p ; 22cm |
| 著者標目 | 和佐, 清孝 早川, 茂 |
| 件 名 | 薄膜 |
| 分 類 | NDC:549.8 |
| 書誌ID | LT00279028 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
工学部分室開架 | 549.8/W41/1 | 0108122980006 | 9784320084773 |
|
|
|
|
|
書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| NCID | BN02297664 |
| 巻冊次 | ISBN:4320084772 |
目次／あらすじ
類似資料
この資料を見た人はこんな資料も見ています
この資料を借りた人はこんな資料も借りています
この資料の利用統計
このページへのアクセス回数：8回
※2020年8月以降