入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 技報堂出版 |
| 出版年 | 1985.10 |
| 形態 | 2,2,3,145p ; 22cm |
| 別書名 | 原タイトル:Vacuum technology, thin films, and sputtering |
| 著者標目 | Stuart, R. V. 毛利, 衛 数坂, 昭夫 |
| 件 名 | 真空工学 薄膜 |
| 分 類 | NDC:534.93 |
| 書誌ID | LT00220689 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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理学部分室開架 | 534.93/ST9/1 | 0107305920001 | 9784765503587 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| NCID | BN00148324 |
| 巻冊次 | ISBN:4765503585 |
目次／あらすじ
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