ブラインドガタ スパッタリングホウ ニ ヨル チョウヘイタン Pt ナノシート デンキョク マク ノ ドウデンセイ ヒョウカ
ブラインド型スパッタリング法による超平坦Ptナノシート電極膜の導電性評価 / 田中響
(工学研究科電気工学専攻)
データ種別 | 修士論文 |
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出版者 | 福岡 : 福岡大学 |
出版年 | 20230319 |
別書名 | 異なりアクセスタイトル:ブラインド型スパッタリング法による超平坦Ptナノシート電極膜の導電性評価 |
著者標目 | 田中, 響 <タナカ, ヒビキ> |
件 名 | FREE:主査教授 西田貴司 FREE:副査 孟志奇 |
書誌ID | LT01059571 |
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状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 95/2022 | 1000000007423 |
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禁帯出 |
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本文言語 | 日本語 |
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一般注記 | 公開範囲: 学内限定 |
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※2020年8月以降