ハンドウタイ ビサイ パターニング : ゲンカイ オ コエル ポスト ヒカリ リソグラフィ ギジュツ
半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 / 岡崎信次監修
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : エヌ・ティー・エス |
| 出版年 | 2017.4 |
| 形態 | ii, x, 382, 12p, 図版vip : 挿図 ; 27cm |
| 著者標目 | 岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ> |
| 件 名 | BSH:リソグラフィー BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC9:549.8 NDC9:549.7 NDC8:549.7 |
| 書誌ID | LT01025295 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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理学部分室開架 | 549.8/O48/3 | 2000000344079 | 9784860434670 |
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工学部分室開架 | 549.8/O48/3 | 2000000392103 | 9784860434670 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 一般注記 | 執筆者: 岡崎信次, 柴崎祐一, 松永隆ほか 文献: 各節末 |
| NCID | BB23688949 |
| 巻冊次 | ISBN:9784860434670 |
目次／あらすじ
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