マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 / 式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
(CMCテクニカルライブラリー ; 570 . 新材料・新素材シリーズ)
データ種別 | 図書 |
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版 | 普及版 |
出版者 | 東京 : シーエムシー出版 |
出版年 | 2016.3 |
形態 | ix, 301p : 挿図 ; 26cm |
別書名 | 標題紙タイトル:Etching for micro/nano fabrication 異なりアクセスタイトル:マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 異なりアクセスタイトル:マイクロナノデバイスのエッチング技術 異なりアクセスタイトル:新材料新素材シリーズ |
著者標目 | 式田, 光宏(1964-) <シキダ, ミツヒロ> 佐藤, 一雄(1948-) <サトウ, カズオ> 田中, 浩 <タナカ, ヒロシ> |
件 名 | NDLSH:半導体 NDLSH:表面 (工学) BSH:リソグラフィー |
分 類 | NDC9:549.8 NDC9:549.7 |
書誌ID | LT01022084 |
所蔵情報を非表示
状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.8/SH34/1 | 2000000392119 | 9784781311012 |
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書誌詳細を非表示
本文言語 | 日本語 |
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一般注記 | 2009年刊の普及版 文献あり |
NCID | BB2089414X |
巻冊次 | ISBN:9784781311012 |
目次/あらすじ
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