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チョウヘイレツ デンシ ビーム ビョウガ ソウチ ノ カイハツ : シュウセキ カイロ ノ ディジタル ファブリケーション オ メザシテ
超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して / 江刺正喜 [ほか] 著

データ種別	図書
出版者	仙台 : 東北大学出版会
出版年	2018.6
形態	vii, 228p : 挿図 ; 21cm
別書名	奥付タイトル:Development of massive parallel electron beam write system : aiming at digital fabrication of integrated circuits 異なりアクセスタイトル:超並列電子ビーム描画装置の開発 : 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して
著者標目	江刺, 正喜(1949-) <エサシ, マサヨシ> 宮口, 裕 <ミヤグチ, ヒロシ> 小島, 明 <コジマ, アキラ> 池上, 尚克 <イケガミ, ナオカツ> 越田, 信義 <コシダ, ノブヨシ> 菅田, 正徳 <スガタ, マサノリ> 大井, 英之 <オオイ, ヒデユキ>
件　名	BSH:電子線
分　類	NDC9:549.1 NDC8:549.1 NDC10:549.1
書誌ID	LT01005299

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