ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
はじめての半導体製造装置 / 前田和夫著
(現場の即戦力)
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : 技術評論社 |
| 出版年 | 2011.8 |
| 形態 | xi, 249p ; 21cm |
| 著者標目 | 前田, 和夫(1935-) <マエダ, カズオ> |
| 件 名 | BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC9:549.8 NDC8:549.8 |
| 書誌ID | LT00942924 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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理学部分室開架 | 549.8/MA26-1/5 | 2000000327436 | 9784774147505 |
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工学部分室開架 | 549.8/MA26-1/5 | 2000000299822 | 9784774147505 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
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| 一般注記 | 工業調査会 1999年刊の再刊 さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p237-240 引用文献および資料: p241-244 |
| NCID | BB0639980X |
| 巻冊次 | ISBN:9784774147505 |
目次／あらすじ