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チョウセイミツ カコウ ト ヒョウメン カガク : ゲンシ レベル ノ セイサン ギジュツ
超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術 / 大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編

データ種別	図書
出版者	吹田 : 大阪大学出版会
出版年	2014.3
形態	v, 379p : 挿図 ; 21cm
著者標目	大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点 <オオサカ ダイガク グローバル COE プログラム コウキノウカ ゲンシ セイギョ セイゾウ プロセス キョウイク ケンキュウ キョテン> 精密工学会超精密加工専門委員会 <セイミツ コウガッカイ チョウセイミツ カコウ センモン イインカイ>
件　名	NDLSH:ナノマテリアル NDLSH:表面 (工学) BSH:機械工作
分　類	NDC9:501.4
書誌ID	LT00940362

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