ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ : リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル : ビサイカ ノ カギ
よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵 / 佐藤淳一著
(How-nual図解入門)
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 秀和システム |
出版年 | 2011.10 |
形態 | 271p ; 21cm |
著者標目 | 佐藤, 淳一(1954-) <サトウ, ジュンイチ> |
件 名 | BSH:リソグラフィー BSH:半導体 |
分 類 | NDC9:549.7 NDC8:549.7 |
書誌ID | LT00901748 |
所蔵情報を非表示
状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.7/SA85/1 | 2000000237513 | 9784798030630 |
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書誌詳細を非表示
本文言語 | 日本語 |
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一般注記 | 文献: p271 |
NCID | BB07554941 |
巻冊次 | ISBN:9784798030630 |
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