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ハンドウタイ コウジョウ ノ スベテ : セツビ ザイリョウ プロセス カラ フッカツ ノ ショホウセン マデ
半導体工場のすべて : 設備・材料・プロセスから復活の処方箋まで / 菊地正典著

データ種別	図書
出版者	東京 : ダイヤモンド社
出版年	2012.8
形態	235p ; 21cm
別書名	標題紙タイトル:All about semiconductor plants materials, facilities, manufacturing processes and how to turn them around 異なりアクセスタイトル:半導体工場のすべて : 設備材料プロセスから復活の処方箋まで
著者標目	菊地, 正典(1944-) <キクチ, マサノリ>
件　名	BSH:半導体
分　類	NDC9:549.8 NDC8:549.8
書誌ID	LT00901707

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