ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカン スル : ギジュツリョク ノ シンズイ
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : 製造装置の全体を俯瞰する : 技術力の真髄 / 佐藤淳一著
(How-nual図解入門)
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 秀和システム |
出版年 | 2010.5 |
形態 | 231p : 挿図 ; 21cm |
別書名 | 奥付タイトル:図解入門よくわかる : 最新半導体製造装置の基本と仕組み 背表紙タイトル:よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 異なりアクセスタイトル:よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : 製造装置の全体を俯瞰する : 技術力の真髄 |
著者標目 | *佐藤, 淳一(1954-) <サトウ, ジュンイチ> |
件 名 | BSH:半導体 |
分 類 | NDC9:549.8 NDC8:549.8 |
書誌ID | LT00821599 |
所蔵情報を非表示
状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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中央4F 図書 | 549.8/SA85-3/1 | 2000000158835 | 9784798026107 |
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工学部分室開架 | 549.8/SA85-3/1 | 2000000200500 | 9784798026107 |
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書誌詳細を非表示
本文言語 | 日本語 |
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NCID | BB0250595X |
巻冊次 | ISBN:9784798026107 |
目次/あらすじ
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