エキシン リソグラフィ ノ プロセス ト ザイリョウ
液浸リソグラフィのプロセスと材料 / 東木達彦監修
(エレクトロニクス材料・技術シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : シーエムシー出版 |
| 出版年 | 2006.10 |
| 形態 | v, 243p : 挿図 ; 27cm |
| 別書名 | 標題紙タイトル:Process and ingredient of immersion lithography |
| 著者標目 | 東木, 達彦 <ヒガシキ, タツヒコ> |
| 件 名 | BSH:リソグラフィー |
| 分 類 | NDC9:549.7 |
| 書誌ID | LT00740754 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.7/H55/1 | 2000000048576 | 9784882315841 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
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| 一般注記 | シリーズタイトルはジャケットより 文献: 各章末 |
| NCID | BA79534578 |
| 巻冊次 | ISBN:488231584X |
目次／あらすじ