ハンドウタイ セイゾウ プロセス ザイリョウ ト ケミカルス
半導体製造プロセス材料とケミカルス / 坂本正典監修
(エレクトロニクス材料・技術シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : シーエムシー出版 |
| 出版年 | 2006.9 |
| 形態 | ix, 329p : 挿図 ; 27cm |
| 別書名 | 標題紙タイトル:Materials and chemicals for semiconductor manufacturing process |
| 著者標目 | 坂本, 正典 <サカモト, マサノリ> |
| 件 名 | BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC9:549.8 |
| 書誌ID | LT00740752 |
所蔵情報を非表示
| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549.8/SA32-1/2 | 2000000048573 | 9784882315889 |
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書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
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| 一般注記 | シリーズタイトルはジャケットより 文献あり |
| NCID | BA78804327 |
| 巻冊次 | ISBN:4882315882 |
目次／あらすじ