レジスト ザイリョウ
レジスト材料 / 伊藤洋著 ; 高分子学会編集
(高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10)
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 共立出版 |
出版年 | 2005.2 |
形態 | iv, 104p : 挿図 ; 19cm |
著者標目 | 伊藤, 洋(1946-) <イトウ, ヒロシ> 高分子学会 <コウブンシ ガッカイ> |
件 名 | BSH:感光性樹脂 BSH:リソグラフィー |
分 類 | NDC9:578.4 NDC9:549.7 |
書誌ID | LT00739489 |
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状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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理学部分室開架 | 578.4/I89-1/1 | 2000000046115 | 9784320043725 | 2006 |
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理学部分室開架 | 578.4/I89-1/1 | 2000000047968 | 9784320043725 | 2006 |
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理学部分室開架 | 578.4/I89-1/1 | 2000000326580 | 9784320043725 |
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本文言語 | 日本語 |
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NCID | BA70954224 |
巻冊次 | ISBN:4320043723 |
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