プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ
プラズマイオンプロセスとその応用 / 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : オーム社 |
| 出版年 | 2005.10 |
| 形態 | xi, 279p ; 22cm |
| 著者標目 | 電気学会 <デンキ ガッカイ> |
| 件 名 | BSH:イオンビーム加工 BSH:プラズマ物理学 |
| 分 類 | NDC9:549.1 |
| 書誌ID | LT00721994 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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理学部分室開架 | 427.6/D58/2 | 2000000017937 | 9784274201233 |
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| 本文言語 | 日本語 |
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| 一般注記 | 文献:章末 |
| NCID | BA73952112 |
| 巻冊次 | ISBN:4274201236 |
目次／あらすじ