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ハクマク サクセイ ノ キソ
薄膜作成の基礎 / 麻蒔立男著

データ種別 図書
第4版
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 2005.7
形態 xiii, 352p ; 21cm
著者標目 麻蒔, 立男(1934-) <アサマキ, タツオ>
件 名 BSH:薄膜
BSH:真空技術
分 類 NDC9:549
NDC9:549.8
書誌ID LT00717956

所蔵情報を非表示


工学部分室開架 549/A86-1/4 2000000010054 9784526055034




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本文言語 日本語
一般注記 参考文献: 各章末
NCID BA72997104
巻冊次 ISBN:4526055034
目次/あらすじ

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