An introduction to microelectromechanical systems engineering / Nadim Maluf, Kirt Williams
| データ種別 | 図書 |
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| 版 | 2nd ed |
| 出版者 | Boston : Artech House |
| 出版年 | c2004 |
| 形態 | xx, 283 p. : ill. ; 26 cm |
| 著者標目 | *Maluf, Nadim Williams, Kirt |
| 件 名 | LCSH:Microelectromechanical systems |
| 分 類 | NDC9:549 |
| 書誌ID | LT00702245 |
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| 状 態 | 巻 次 | 所 在 | 請求記号 | 資料番号 | ISBN | 刷 年 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | お薦めの本 | 自動書庫 | 付録注記 |
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工学部分室開架 | 549/MA39-1/2 | 0113596860100 | 9781580535908 |
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| 本文言語 | 英語 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| NCID | BA70713068 |
| 巻冊次 | ISBN:1580535909 |
目次／あらすじ